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低温泵的应用与产品优势

日期:2019-11-13 22:35
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摘要:
    低温泵可以获得抽气速率*大、极限压力*低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

优势 
    (1)低温泵在获取洁净和无油真空方面,具有其他产品无法相比的优势。它可以作为研究其他真空泵对真空污染程度的标准;
    (2)低温泵在抽除水蒸汽和其他潮湿混合气方面具有较大抽速;
    (3)低温泵在抽取轻重量分子方面也具有较大抽速;
    (4)在要求大抽速的真空设备中,低温泵是*经济的。商品化的低温泵可以在很小的口径下提供大的抽速
    (5)低温泵是基于低温吸附而工作的,不需要其他电子材料,不会有波动;
    (6)在真空中无任何运动部件,高稳定性,也不会带来密封问题;
    (7)无任何方向要求;
    (8)还可以进行选择性的抽取某种气体。

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