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低温泵类型

日期:2019-11-13 23:51
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摘要:
低温泵类型
  低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。
  注入式液氦低温泵
  主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。为了减少液氦消耗,液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽到  帕压力时灌入液氮和液氦,气体凝结在4.2K的工作冷板上。经预抽使氦氢分压到  帕数量级,故泵可获得 帕以下的极限压力。如果把液氦容器抽真空减压到6650帕,液氦温度可降到2.3K,则可得到更低的极限压力。
  闭路循环气氦制冷机低温泵
  它是70年代出现的新型低温泵。这种(低温泵)泵不消耗氦气、操作简便,易于维修,应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦,上等冷板温度为50~100K,典型应用是65K,用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10~20K,用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。活性炭在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成,表面抛光达到镜面程度,以减小辐射系数。泵的极限压力为 帕,工作压力范围为 帕,要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升/秒。此外,尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内,其抽气速率可达到106升/秒以上。

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